在微電子行業中，為了準確控制各類制造、檢測類設備的溫度，液冷技術發揮著至關重要的作用。例如，在半導體晶圓制造過程中，晶圓夾具須配備液冷系統，用以帶走由高能離子轟擊時產生的熱量，并控制晶圓溫度。否則，晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網狀組織化。

由此可見，液冷系統不僅關乎設備的安全運行和使用壽命，還關乎zui終產品的良率與性能。在整個液冷系統的組件中，選用合適的管路及接頭非常關鍵。作為流體傳動行業“無泄漏”的先行者，Parker派克漢尼汾可為微電子行業的液冷系統提供多種高品質流體連接解決方案，滿足不同設備的冷que需求。

NSS 快換接頭

采用平齊端面閥芯，斷開無溢流；大流量通流能力，提供優異的流量-壓降特性，冷que性能穩定、能耗低；采用對齊導向即插連接和套筒反推斷開設計，操作方便、不會意外斷開；不銹鋼材質，多種密封材質和油口選項可選。

O-LOK 不銹鋼接頭

采用端面 O 形圈軟密封，該密封圈嵌在Parker派克特you的O形圈鍥形槽內，密封性能更加穩定可靠。這不僅進一步提升裝配安全性，還能更好實現無泄漏連接，優化安裝和維護成本。由于連接及密封性能高度可靠，它能進一步減少微電子行業冷que系統管路的重復安裝，降低維護成本。

PTFE 軟管

PTFE系列軟管中的979BXT、929Bj、919B和 NCW/NCB 軟管可用于液冷管路，采用PTFE芯管，是因為其具有良好的介質兼容性；靈活 性好；抗扭結和耐真空；無RFI問題。

801軟管

801軟管是針對冷que應用而設計研發的多用途軟管產品，可與多種水基冷que介質兼容；與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配，無需扣壓和抱箍、易于安裝，節省安裝時間和成本；6種顏色可選，便于識別；801軟管采用本地化生產，交期快，供應安全。

目前，Parker派克漢尼汾旗下的高品質流體連接解決方案已在微電子行業得到成功應用，性能表現深受客戶認可。